中国科学院长春光学精密机械与物理研究所2026年7至12月政府采购意向

A02100309激光仪器

激励激光需满足单脉冲能量稳定性在±1%允差范围内，光斑均匀性在+5%允差范围内，在长时间运行下，由于深紫外光学元件的热畸形和系统冷却的影响，目前国内ArF激光器在长时间运行下单脉冲能量稳定性>±1.5%~±2%，光斑均匀性>±8%,难以满足深紫外光学元件吸收系数测量需求。国外激光器具备≤±1%的单脉冲稳定性和<5%的均匀性，能够满足本项目要求。