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| 低温超深宽比反应离子刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海技术物理研究所2026年6至12月政府采购意向 http://****.gov.cn 点击查看 |
| 采购单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 低温超深宽比反应离子刻蚀系统 |
| 预算金额： | 586.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02109900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 ： |
低温刻蚀深度：4-10 μm；最小特征尺寸：50-100 nm；晶圆内的非均匀性：小于1% Bosch刻蚀深度：200-300μm；最小特征尺寸：50μm；晶圆内的非均匀性：小于1%
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| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
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本公告地址：https://www.17bid.cn/view/537/NGTSu54BMqitpwL57fnd.html
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