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| 氟化物光学薄膜镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 氟化物光学薄膜镀膜机 |
| 预算金额： | 1500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100399其他光学仪器
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| 采购需求概况 ： |
1.用于制备氟化物高反膜。 技术指标： 真空度优于2e-7mbar； 工件盘尺寸不小于220mm； 镀膜均匀性≤0.75%。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 化学机械抛光机_碳化硅 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 化学机械抛光机_碳化硅 |
| 预算金额： | 145.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02330300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
1. 通过化学机械抛光方式，降低碳化硅材料的表面粗糙度。 技术指标： 样品尺寸：8寸向下兼容； 表面粗糙度：RMS≦0.5nm。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 氢氟酸干法释放系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 氢氟酸干法释放系统 |
| 预算金额： | 210.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02330300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
1.利用氢氟酸气体进行干法无损伤刻蚀氧化硅。 技术指标： 样品尺寸：单片刻蚀，8寸向下兼容； 气路：HF、N2、C2H5OH； 刻蚀不均匀性：≤10%。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 双光子聚合激光直写 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 双光子聚合激光直写 |
| 预算金额： | 220.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100309激光仪器
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| 采购需求概况 ： |
1. 实现光子引线加工和3D微结构加工(可位于光纤端面)。 技术指标： XYZ轴分辨率≤100nm； 对准精度≤500nm ； 拼接精度≤100nm。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| VUV分光光度计 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | VUV分光光度计 |
| 预算金额： | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100499其他分析仪器
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| 采购需求概况 ： |
1.用VUV波段的反射谱、透射谱等。 技术指标： 光源波长至少覆盖110~300nm； 光谱分辨率：≦0.7nm。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 在线式自动涂胶显影机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 在线式自动涂胶显影机 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100699其他试验仪器及装置
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| 采购需求概况 ： |
1."搭配步进式光刻机使用，在线式自动涂胶显影机，可在光刻胶时效内完成显影功能。 " 技术指标： 可加工衬底尺寸：8”； 单元数：2路涂胶单元，2路显影单元。 " 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 步进式光刻机(DUV) | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 步进式光刻机(DUV) |
| 预算金额： | 4700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02330300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
1.实现在8英寸硅片上加工最小线宽150nm以上的图形。 技术指标： 可加工衬底尺寸：8”； 可稳定制备的最小线宽：≧150nm。 " 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 五轴联动数控机床（CNC） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 五轴联动数控机床（CNC） |
| 预算金额： | 280.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02119900其他电子和通信测量仪器
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| 采购需求概况 ： |
1.实现对熔融石英、单晶硅等非金属物件，进行冷加工。 技术指标： X轴 : 630 mm； Y轴 : 1100 mm； Z轴 : 600 mm； A轴 : -120° ～ + 30°； C轴 : ±360°。" 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应.
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 大写场电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 大写场电子束光刻机 |
| 预算金额： | 1700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02330300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
1.实现纳米级图形化工艺。 技术指标： 可加工衬底尺寸：8英寸晶圆向下兼容； 加速电压：≥100kV； 最大主场尺寸：≥1200um； 主场拼接精度：≤40nm； 套刻精度：≤±30nm。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 聚焦离子束设备（FIB） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束设备（FIB） |
| 预算金额： | 1400.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02330300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
1.制备微米级三维结构及制备TEM断面样品。 技术指标： 离子束加速电压最大不低于30 kV； 最高束流可达100 nA； 横向分辨率＜35 nm。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 半自动键合/解键合一体机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 半自动键合/解键合一体机 |
| 预算金额： | 170.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02330300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
1.在样品减薄或抛光前，通过低温蜡临时键合到载片上固定。减薄或抛光后，通过热划移或激光解键合模块无损分离临时键合的样品。 技术指标： 支持4、6寸键合载片与6寸以下晶圆/方片的临时键合 支持上述临时键合对的激光解键合及热滑移解键合； 键合TTV＜10um。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 氟化钍专用刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 氟化钍专用刻蚀机 |
| 预算金额： | 380.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02330300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
1.在229ThF4薄膜上制备三维光腔结构。 技术指标： 系统组成： 1个进样腔，1个刻蚀腔，自动机械手臂传送样 样品尺寸：8寸向下兼容； 刻蚀面内均匀性：≤5%。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| VUV椭偏仪 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | VUV椭偏仪 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100803光电测量仪器
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| 采购需求概况 ： |
1.在VUV波段测量薄膜的折射率及消光系数。 技术指标： 光谱范围：至少覆盖146~200nm； 光斑尺寸：直径≤4.5mm； 光谱测试间隔：最小步长0.1nm。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
| 超导探测器 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 超导探测器 |
| 预算金额： | 195.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100803光电测量仪器
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| 采购需求概况 ： |
采购一套，包含1个低温恒温系统和12个探测通道，用于实验中的单光子探测，要求探测效率>80%，暗计数<10Hz
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| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
| 声光调制器及组件 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 声光调制器及组件 |
| 预算金额： | 254.500000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A02100399其他光学仪器
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| 采购需求概况 ： |
一批声光调制器及组件，260组，用于实现冷原子实验中激光的移频、开关等，涉及多个波长，每个波长多个调制频率
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| 预计采购时间： | 2026-10 |
| 备注： | |
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本公告地址：https://www.17bid.cn/view/537/PUKvkKABni4p5U9X8cIY.html
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