哈尔滨工业大学2026年10月政府采购意向

A02330300电子工业生产设备

1.采购标的“等离子体增强化学气相沉积系统” 2.主要功能用于研究等离子体增强化学沉积工艺，比如进行新材料开发：利用不同气源（SiH4、N2O、NH3等），调控射频功率和气压，制备不同折射率、不同应力的薄膜，为超表面或光电器件提供优异材料；低温工艺突破：在柔性基底（如塑料）上，利用等离子体增强化学沉积低温优势沉积功能膜，这是柔性电子和可穿戴设备的热门方向；原位诊断：通过光谱仪等工具研究等离子体反应机理，与等离子体仿真结合，研究沉积过程的等离子体反应机理，满足等离子体增强化学气相沉积分析需求。 3.数量1套。 4.质量要求符合国家/行业相关标准。主要技术参数:沉积材料：SiO2、Si3N4、非晶Si等 ·气体：5%SiH4+95%Ar、N2O、NH3、CF4、O2、N2 ·射频电源：13.56 MHz，最大功率1000 W ·上电极：最大加热温度≥200 ℃ ·下电极：直径260 mm，最大加热温度400 ℃ ·最大晶圆尺寸：8 inch ·沉积室压强：0.133-133 Pa，极限真空度：≤5×10-5 Pa。 5.供应商提供出厂合格证明及检测报告，设备为全新原装正品。服务要求整机质保不少于1年，免费安装调试及操作培训，质保期内4小时响应、1日内到场维修。 6. 安全要求符合实验室安全相关管理规定，供应商提供安全操作手册。 7.时限要求合同签订后60日历天内交货安装调试完毕。 8.预算金额261万元

A02100309激光仪器

1.采购标的 可编码大能量远距离高精度激光定位照射光源。 2.主要功能 可编码大能量远距离高精度激光定位照射光源主要用来完成高精度激光雷达目标定位和照射，用于高精度位置标定，提升激光三维信息获取精度。实现低重频大能量激光输出、以及高精度目标照射、光源位置姿态高精度获取，以保障开发远距离高精度激光探测与照射，辅助提高高精度三维信息精度，以及矫正激光三维探测系统。 3.数量 1套。 4.质量要求 符合国家/行业相关标准，主要技术参数为： 激光波长：1.064μm±0.001μm； ·脉冲宽度：15ns±5ns； ·可编码； ·激光脉冲能量：全温度范围内（-55℃~75℃）≥165mJ； ·脉冲能量波动：一个照射周期内，单次脉冲能量波动不超过平均照射能量5%； ·激光重复频率：50Hz~100Hz； ·定位精度：≤2.5cm； ·姿态精度：≤0.015°； ·支持RTK和PP模式 ·激光头尺寸：≤250mm×200mm×150mm 供应商提供出厂合格证明及检测报告，设备为全新原装正品。 5.服务要求 整机质保不少于2年，免费安装调试及操作培训，质保期内24小时响应、3日内到场维修。 6. 安全要求 符合实验室安全相关管理规定，供应商提供安全操作手册。 7. 时限要求 合同签订后60日历天内交货安装调试完毕。 8. 预算金额 134万元。

A02100399其他光学仪器

航天微纳器件制备及测试系统是支撑航天器关键功能器件自主研制、性能提升与极端环境适应性验证的重要基础条件。系统主要面向航天微纳器件的制备、性能测试及可靠性评价需求，融合微纳加工、光学分析和高速信号测试等技术，形成器件制备、性能表征与动态测试一体化能力，为航天光纤传感、微纳光电及相关器件研发提供工艺和测试支撑。采购标的名称为航天微纳器件制备及测试系统，采购数量为1套。系统主要包括航天微纳器件制备、传感器光谱分析和传感信号采集分析等功能，可用于特种光纤微结构、光纤端面及相关微纳器件的功能化制备，实现器件光谱特性、动态响应及关键性能参数的测试分析，满足航天微纳器件研发试制、工艺优化、性能验证和可靠性评价等需求，提高器件制备的一致性、重复性和测试准确性。包含运输、安装、调试及使用培训等必要服务。